ISO潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

分級

最高濃度極限/（顆粒數(shù)/m3）

近似對應(yīng)

傳統(tǒng)規(guī)格

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

ISO 1級

10

2

ISO 2級

100

24

10

4

ISO 3級

1000

237

102

35

8

1級

ISO 4級

10000

2370

1020

352

83

10級

ISO 5級

100000

23700

10200

3520

832

29

100級

ISO 6級

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000級

ISO 7級

352000

83200

2930

10000級

ISO 8級

3520000

832000

29300

100000級

ISO 9級

35200000

8320000

293000